QMA401微量水分分析仪:高精度检测,多场景适用,全生命周期成本低
一、产品概述
密析尔持续迭代自研石英晶体振荡微平衡(QCM)核心检测技术,推出全新 QMA401 微量水分分析仪。设备搭载全新一代高精度石英晶体传感元件,测量精度稳定,测量结果不受背景气体组分变化干扰。常规氧化铝、陶瓷类湿度传感器在 1 ppmV 以下超低湿工况下性能衰减明显,而 QMA401 依托经过行业长期验证的晶振检测原理,在微量水区间依旧保持高稳定、易操作的优势,同时大幅降低设备全生命周期维护成本。高可靠系统设计:整机核心组件(内置校准湿度发生器、石英晶体传感器、精密流量单元)全部配备恒温控温结构,隔绝样气、环境温度波动对测量数据的干扰。搭载高精度质量流量计,样气、标准校准气流量控制精度≤±0.1 mL/min;集成内置压力传感模块,可实时补偿样气压力波动,保障测量、换算参数持续精准;全流程自动流量、压力补偿,取样工况变化时测量数据无漂移。
二、核心产品亮点
完整测量量程 0.1 ~ 2000 ppmV,全量程保持高精度检测能力
操作简单直观,现场检修便捷,运维综合成本更低
测量精度:取 0.1 ppmV 或读数的 ±10% 两者中较大值
自适应波动取样工况,自动补偿样气压力、流量变化
抗干扰能力强,背景气体组分改变不影响测量结果
超长维护周期,减少停机检修频次
干燥筒快速更换,全程仅需 10 分钟
7 英寸彩色触摸屏,分层菜单操作界面清晰易懂
丰富数字通讯:以太网 Ethernet、USB、RS485 Modbus RTU、Modbus TCP
标配 SD 卡本地大容量数据存储记录
可选集成一体化内置取样系统、旁路回路组件
三、典型应用场景
高纯特种气体生产水分监控
空分制氧 / 制氮装置微量水检测
半导体 CVD 化学气相沉积洁净室工艺气监测
半导体蚀刻腔体载气微量水分管控
发电机组氢冷系统氢气湿度分析
塑料粒子烘干干燥工艺尾气检测
四、完整技术参数
1.测量性能指标
检测原理:高速响应石英晶体振荡微平衡 QCM 技术
标准校准区间:0.1 ~ 700 ppmV
整机测量量程:0.1 ~ 2000 ppmV
测量精度:0.1 ~ 1 ppmV:±0.1 ; ppmV1 ~ 2000 ppmV:读数的 ±10%
重复性 :0.1 ~ 1 ppmV:±0.1 ; ppmV1 ~ 2000 ppmV:读数的 ±5%
最低检测下限:0.1 ppmV
可选显示单位:ppmV、ppmW、mg/Nm³、水汽分压 Pa、霜点℃、lbs/MMscf
响应速度
T63(63% 信号响应)<2 min;T95(95% 满量程响应)<5 min
自动校准:内置溯源级标准湿度发生器,校准数据可溯源英国 NPL、美国 NIST 计量基准
检测灵敏度:取 0.1 ppmV 或读数 1% 中较大值
2.电气、信号与交互
供电规格:85 ~ 264 V AC 47/63Hz / 110 ~ 300 V DC,整机最大功耗 111 W
无源报警触点(FORM C)
1 路整机系统故障报警
3 路工艺参数超限报警,可自由绑定水分、霜点、流量等参数
输出接口
模拟输出:二选一,2 路 4–20mA 或 1–5V 电压信号
数字通讯:RS485/USB Modbus RTU、Ethernet Modbus TCP
数据记录:本地 SD 卡存储,支持上位机软件同步采集记录
人机界面:7 英寸彩色 LCD 触控显示屏
3.样气工况条件
进气压力:标准机型最高 1 barg;高压定制版最高 300 barg
出气条件:直接排空至大气压
额定样气总流量:300 mL/min(常压基准)
允许样气介质温度:0 ~ +100℃
设备环境工作条件:+5 ~ +45℃,环境相对湿度≤90% RH
4.机械结构规格
安装机箱标准:19 英寸机架,4U 高度,深度 434mm
气路连接端口:1/4 英寸 VCR 外螺纹金属密封接口
整机重量:13.5 kg
