设备优势凸显：可对接制程线体、灵活切换，具备多项监控与远程控制功能
优势：
• 可对接水平线或上下制程线体
• 尺寸小巧，灵活切换线体
• 可监控处理区温度
• 可选择磁力传送或皮带传输
• 可监控气体流量和比例混合
• 可监控等离子高度
• 可远程控制
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