高精度高稳定性点胶设备：可切换8/12寸晶圆，适用于多种工艺及特定工作流程

性能优点

1）高精度，XY轴采用U型直线电机，重复精度≤±3μm

2）高稳定性，一体铸造成型机架具有良好的吸震性和长期可靠性

3）全自动，配置专用晶圆上下料机，实现晶圆装载、搬运、预热和校准

应用领域

晶圆级底部填充点胶/点银胶&锡膏/精密微量喷涂等