极向磁光克尔效应用于晶圆堆磁性检测,垂直2.5T磁场使MRAM薄膜堆栈多层翻转
利用极向磁光克尔效应(MOKE),可以快速、全面地检测晶圆堆的磁性。非接触式测量避免了传统磁性表征对晶圆的损伤,可用于制模前后的样品检测。垂直磁场达到2.5T时,垂直各向异性磁随机存取存储器(MRAM)薄膜堆栈的自由层、参考层和固定层会发生翻转
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