四轨道在线式真空等离子清洗机：适用于IC封装与LED支架清洗，全自动化流程无人工干扰

四轨道在线式真空等离子清洗机产品介绍：

四轨道在线式等离子清洗机主要针对集成电路IC封装，LED支架清洗工艺，自动将料盒里的引 线框架取出并进行等离子清洗，去除材料表面污染，提高表面活性，再自动放回料盒，全程无 人为干扰。

工作流程：

1）将装满引线框架的4个料盒放置在置取料平台上，推料机构将第一层料片推出至上下料传输 系统。

2）上下料传输系统通过压轮及皮带传输将料片传输到物料交换平台的高台上，通过拨料系统 进行定位。

3）接好料片的平台交换至等离子反应腔室下方，通过提升系统将真空腔室闭合抽进行等离子 清洗。当高台传输到清洗位时，低台传输到接料位置进行第二层的接料。高台清洗结束后与低 台交换位置，低台进行等离子清洗，高台到接料位置进行回料。

4）物料交换平台上的料片由拨料系统拨到上下料传输系统上,通过压轮和皮带传回料盒，完成 一个流程。推料机构推下一层料片，进行下一个流程。

上下料系统：料盒放置在上料台上，自动运动至料盒夹中， 通过料盒夹取机构将料盒夹至工作 位，料片推杆机构将料片推 至过渡桥上后，通过料片夹将料片夹至反应仓、移动仓底，下料 时再通过相反过程，将料片送回至料盒，即料盒对料盒的模式， 避免人工接触。 推料及夹取 料片均采用光纤传感器进行检测，避 免空流程及卡料。